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    4. 一站式超精密研磨拋光解決方案

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      國瑞升

      國瑞升專業術語表

      我們試圖涵蓋超精密研磨拋光行業中的所有主要專業術語,但如果我們有寫錯或遺漏,麻煩指導我們進行更正,非常感謝!

      名稱 定義
      CMP 機械削磨和化學腐蝕的組合技術,它借助超微粒子的研磨作用和化學腐蝕作用在被研磨的介質表面形成光潔平坦表面。
      儲屑 研磨過程中會產生磨屑,研磨耗材表面的凹糟,孔洞等封閉結構可以存儲磨屑,即為儲屑。
      儲屑槽 研磨耗材表面提供儲屑作用的凹糟、孔洞等結構稱為儲屑槽。
      抽真空 真空泵將容器中的氣體抽出去,壓力低于大氣壓力的過程。
      插回損 光纖在對接時能量的損耗
      擦傷 研磨耗材通過研磨來達成清潔效果,如果研磨耗材與研磨對象、研磨需求不匹配,或者研磨工藝條件欠妥,一般容易在面板表面,尤其面板邊緣造成明顯研磨痕跡,多呈片狀,即為擦傷。
      粗糙度 加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度 。它屬于微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度越小,則表面越光滑。
      名稱 定義
      TTV(總厚度變化) 總厚度超差(TTV)---指晶片厚度的最大值與最小值之差。
      同心度 圓心的偏移程度
      名稱 定義
      下壓量 研磨是通過調整研磨耗材表面與面板之間的距離來調整研磨效果,下壓量即為研磨下壓的量化表征。
      形狀公差 形狀公差是指單一實際要素的形狀所允許的變動量;包括直線度、平面度、圓度、圓柱度、線輪廓度、面輪廓度。
      名稱 定義
      位置公差 形狀公差是指單一實際要素的形狀所允許的變動量;包括平行度、垂直度、傾斜度、位置度、同軸度、對稱度、圓跳動、全跳動。
      彎曲強度 材料在彎曲負荷作用下破裂或達到規定彎矩時能承受的最大應力
      紋路 波紋是指晶片拋光表面上遺留下的一種宏觀波紋狀起伏。波紋表征拋光表面不平整。
      紋路 指加工后工件表面出現的一些條紋、線條類缺陷。
      紋路 微觀下的樣品被研磨后的軌跡
      維度 金相檢測中的檢測空間坐標,比如三維結構。
      名稱 定義
      偏心量 定義插針中心軸與凸球面頂點地距離
      批次 產品的生產日期
      批次 采購過程中為了區分不同供應商之間相同產品間微小區別的管理方式
      拋光條 牙科產品名稱
      拋光蹄、拋光靴、拋光塊 拋光機專用工裝夾具
      排屑槽 研磨耗材表面能夠提供排屑作用的結構、紋路稱為排屑槽。
      排氣泡 去除物料中的氣泡
      名稱 定義
      光引發劑 在光照下,引發單體聚合固化的化合物。
      光纖高度 表示光纖相對于插針表面凸出或凹陷
      鋼錠 把熔煉的鋼水澆入模型,冷卻凝固而成的鋼塊。
      名稱 定義
      內圓輪廓 內部的圓形輪廓
      名稱 定義
      減薄 降低晶片厚度
      徑向跳動 被測回轉表面在同一橫剖面內實際表面上各點到基準軸線間距離的最大變動量。
      激光裁切 利用激光的高能量密度特性,照射在材料的表面,將某一特定區域的材料汽化或者熔化,并將單片材料分割成單片或多片具有一定幾何形狀材料的加工方法。
      焦點平面偏差(FPD) 指晶片上距焦平面最高處和最深處到焦平面的距離中遠的一個。
      金相 金屬的具體形態
      名稱 定義
      切削力 對研磨對象的去除量多少的能力
      切削力 特定研磨時間內研磨紙對金相樣品的消耗量
      切削力 切削力,是指在切削過程中產生的作用在工件和刀具上的大小相等、方向相反的切削力。
      曲率半徑 插針與球面成型后由球面計算其半徑
      氣眼 一種輔料名,也叫雞眼,空心鉚釘。
      缺陷 指工件表面的斑點、凹坑、劃痕、色差、缺損等影響產品質量的問題。
      名稱 定義
      劃傷 劃傷系指在研磨片表面上出現的一種宏觀無規則較淺的細溝槽
      劃傷 研磨耗材通過研磨來達成清潔效果,如果研磨耗材與研磨對象、研磨需求不匹配,往往容易對液晶面板造成損傷,一般為線形或者螺旋形溝痕,即為劃傷。
      合金成分 組成合金的各種金屬或非金屬元素
      橫紋 涂布時產生的橫向細紋
      名稱 定義
      雙面研磨 上、下研磨盤作相反方向轉動,工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產效率高。有光柵厚度控制系統,加工后的產品厚度公差可控制。
      壽命 主要是產品在保證研磨后性能的情況下,可使用的次數,或時間
      壽命(研磨壽命、使用壽命) 在良率滿足要求的條件下,研磨耗材清潔的面板的總數量。
      適配器-光纖 光纖通信系統中使用量最多的光無源器件,大多數的光纖連接器是由三個部分組成的:兩個光纖接頭和一個耦合器。兩個光纖接頭裝進兩根光纖尾端;耦合器起對準套管的作用。另外,耦合器多配有金屬或非金屬法蘭,以便于連接器的安裝固定。
      名稱 定義
      通常指經擇優化學腐蝕后表面的一種凹陷。
      金相研磨后樣品表面微觀存在的凹陷
      空氣眼 一種輔助材料的名稱,也稱為雞眼、空心鉚釘
      空間形貌 微觀狀態下的金相樣品空間分布狀態
      名稱 定義
      定性分析 是指研究者運用文獻分析、觀察、參與經驗等方法獲得的資料,用非量化的手段進行分析,獲得研究結論的方法。
      定量分析 研究者通過對大量數據的比較和分析作出有效的解釋。
      打滑 摩擦力達不到要求,空轉。
      點狀缺陷 金相顯微鏡下觀察樣品表面存在的黑點或者白點瑕疵
      電鏡圖 掃描電子顯微鏡,拍攝不同倍數的微觀圖片
      電鏡圖 即掃描電鏡圖,是一種微觀分析工具,主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。
      端面缺陷 研磨后端檢儀檢測表面的不良
      名稱 定義
      有源光纜(AOC) 通信過程中需要借助外部能源,將電信號轉換成光信號,或將光信號轉換成電信號的通信線纜
      氧化作用 氧化作用是在生物體內或生物體外將物質分解并釋放出能量的一種過程。
      研光器 牙科產品名稱
      移除率 一定時間內,厚度的減薄量,一般用μm/min表示。
      名稱 定義
      比重 即相對密度,物質的密度與作為標準物質的密度之比。
      比重 即相對密度,一物質的密度與取作標準的某一物質密度之比。
      背反射 表面輪廓不是球體或圓柱體的一部分的透鏡。
      表面平整度 加工或生產某物時,表面并不是絕對平整的,不平整與絕對水平的區別就是平整度。(值越小越好)
      表面平整度 晶片表面與基準平面之間最高點和最低點的差值。
      表面平整度 加工或者生產某些東西時,表面并不會絕對平整,所不平與絕對水平之間,所差數據,就是平整度。(數值越小越好)。
      表面粗糙度 它是加工表面的不平度,間距很小,有微小的峰谷。表面粗糙度越小,表面越光滑。
      表面粗糙度 是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度 。表面粗糙度越小,則表面越光滑。
      表面粗糙度(Ry) Ry等高線最大高度:采樣長度中等高線峰峰線與等高線谷線之間的距離。
      表面粗糙度(Rz) Rz 微觀不平度十點高度:取樣長度內最大輪廓峰高的平均值與五個最大輪廓谷深的平均值之和。
      邊緣輪廓 圖形或對象邊緣周圍的線條。
      邊緣輪廓 一個圖形或物體的周圍邊緣的線條
      名稱 定義
      磨削比 工件的材料磨除量與砂輪磨損量之比
      磨損 劃痕是指研磨盤表面出現宏觀不規則且淺的凹槽。
      磨除量 樣品磨去的量
      名稱 定義
      組織結構 金相制樣微觀下的組織形態或內部結構
      走帶量 拋光過程中研磨帶的走動距離,走帶量關系到拋光效果及拋光成本。
      走帶量 砂帶拋光設備每加工一件零件所需要的砂帶長度
      遮光 顆粒在光束中的遮光橫截面與光束總面積之比
      名稱 定義
      良率 研磨后端面的合格率
      藍光固化 在藍光照射下,短時間凝固。
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